��ࡱ�>�� ������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������#����  !"����$%&'��������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������Root Entry�������� �FP,�O�(�@SummaryInformation(�����DocumentSummaryInformation8������������WordDocument��������.6���� �������� !"#$%&'()*+,-./0123456789:;<���������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������� �����Oh��+'��0��������, < H T`hpx�� OahV�T�hKm�Nh��v͑��'` lin xueNormal�~yr�2@���?p�@�ۗO�(� Microsoft Office Word�� ��՜.��+,��D��՜.��+,��l(������������    � Microsoft �(\�dlKSOProductBuildVer�2052-10.1.0.7468&0Table����� Data ����������������WpsCustomData������������ ���������������� P��#KSKS�.6� �������jj� j<���� � $h�d�� ��   OahV�T�hKm�Nh��v͑��'` �]N��Y(W6R �Ǐ z-N�Ste:g'`��KmՋ-NOG�0RT�y:g�hϑ�T�QUOϑ � g�N�]N��Y(WЏL�-N؏���~8^�[N�N:g�hϑ05uϑۏL��hKmb�vƉ0ُ�N:g�hϑ gMO�y0��^0�R��^0�R0�R�w0�R�s0�S�R0Amϑ0)n�^0lx�^0�[�^0)n�^0�k͑�T�|�^I{ ��QUOϑ g��^0҉�^0b_�r0MOn0h�b��|�|�^0h�b��lb_I{ �ُ�NGW^\�Nirtϑ0�[E�(W�N�Nu�N0u;m�T�yf[�[��-N؏OG�0RSf[ϑ0uirϑ�S�b;Sf[ � � �@b gُNR ��N�O�S�v҉�^eg w �������Ǐ OahV �\vQl�bcb5u�O�S�я�N؏�S�Nl�bcbIQ�O�S � � �T�QۏL��O�S�v O��0Yt0X[�P0>f:y0�c6R& & ��N�Oo`�v҉�^ w �ُ�N�O�Sޏ T�X�T�V�P�Oo`��/f�Oo`�v�n4Y �@b�N OahV�T�hKm�Nh�0Kmϑ�Nh�/f�Oo`�yf[�b/g�v N�R��Oo`���S0�Oo` O��0�Oo`Yt �-N�v͑���R0 (W�s�N�]N��Y-N � OahV�T�hKm�Nh�/f N�Sb:�vN�R�vt1u �؏�S1u�N N$N�eb�eg w� O�~�v�]N��Y�Y(WvQ N�X�R�N�_���v OahV �M�Y�|�[Kmϑ��N�D��N � �RvQ�R���T�|�^�S�N�cؚ ��O�N(u7b�d\O�T�~�b ��[hQI{�~_N�S�N�cؚ ���Y�S�N�Xe'YhV�ۏL��br^pbYt�S�O�S O�� � �S_6q؏ g5u�n�S�s:W>f:y�R��S ��b � �5u�O�SN,�Rޏ�~ϑ0�yceϑ$N�y ��[E� N؏�SRb!j�bϑ0_sQϑ0 ��QϑI{ �!j�b�O�S O��Ǒ(u�~N�O�S�4~20mA DCI{ �0peW[SǏ z-N ��hKm�Nh��SS�k��'Y ��~Ǐ�Q*N6��k �яegYǑ(uASICN(uƖb5u� � �N�b OahV�T�_YthV�SQ�~�c�S\ň(WN*NhV�N-N ��[b�Oo`���S0Yt0 O��0X[.�I{�R��0(WꁨRS�Nh�-N�~8^�b�hKm�N�y:N�S�hV ��Y)n�^�S�hV0�S�R�S�hVI{0 �V:N OahV(u�NTL�TN ��RKNُ�Nt^eg ��[(u5uhV0}lf�0�Oo`�NN N�eb��vޘ��SU\ ��[ OahV�Bl'Y�X �@b�N OahV6R �N�SU\�_�_ �b_b�r�z�v�NN �ُ1\�b�R�N�]N��Y �yr+R/fJS�[SO0��Y6R �N�v�SU\ �@b�N-N�V g�_��yr+RsQ�l OahV�NN0 OahV�N�T�T�yY �Ǒ(u�v�yf[�StY ��b/g�[Ɩ �wQ gY7h'`0��'`0�~T'`�T�bz�'` ����Yf[�y0Y�yؚ�e�b/gM�T �}�6qwQ gؚD��RHe�v �FO,g���Ne �b�V�]'Y�v^:W �_eg�NT�V�SFU�Y��P[0*j�l0 �<\�\0'k�Y��0���~I{lQ�S �ُ:Ng�~(u7b�T�]N��Y6R ��S&^eg�N�_'Y�v�O)R � ��V�Q OahV�T�hKm�Nh�u�N}� g�SU\ �FOُ܏ N��ߍ Nb_�R�v��Bl0T�V OahVu�N�Tx�S�vĉ!j(W N�eib'Y ���V�~ g1300�[u�N�T_�S OahV�v�S�[ �100Y*Nxvzb�@b�Tb�!h ��e,g g800�[�SFU0b�Vяt^�^�z�N OahV�b/g�V�[͑�p�[���[0�_s|/�~s|�V�[͑�p�[���[I{x�S�W0W �Rek�^�z�NOeaCQ�N�T OahV�NN �2000t^;`�Nϑ��Ǐ13�N�S ��vMRb�V�] g1688�[�N�N OahV�vu�N�Tx�S�vON �vQ-N�N�NMEMSx6Ru�N�v�] g50Y�[ �0R AS�N +gg �OeaCQ�N�T OahVt^;`�Nϑ�]��0R20�N�S0 b�V(W�SN�VE� OahV^:W�z�N�eb�_Np��Q�N�e�P[ ��Y�l3��Nh��yf[xvzb��v OahV�V�[xvz-N�_ ��]T��V�Q�S�ROe OahV��Gr40N�S0 OahV�b/gS�bOea:gt0OeaPg�e0�]z���Y�T��Km�b/g�V*N�eb� ��~ g30Y�y�b/g0��@w�_5uP[�b/g�v�SU\ � OahV�b/g�SU\�_�_ �b�Vx�S�v�Rϑ\�'Yϑ�beQ �yr+R���R:_wQ g�;N�wƋ�NCg�v OahV�v_�S0�yxb�g�vl�S�S OahVu�N�NNS� �(Wb�V�f/f�(W wkw�v� �(Wybϑu�N�`�Q N ��c6R OahV�N�T'`���;N��/f3z�['`0�S`�'` � �OKNTeR ��N g)Rag�N �T�y�]N��Y�^(u�NHQۏ�v OahV �ُib'Y�N OahV^:W �_NOb�V�e�W OahVu�N�NNS g�N�R�R0 b�V(W OahVu�N�NNSǏ z-N ��^�|Q~�_ۏ�VY�b/g�T�;NR�e$N�eb�0(W_ۏ�VYHQۏ�b/g-N ��S�N�cؚ��]�v�b/g � T�e_N�n���N�V�Q^:W�v�Bl �b_b�N OahVu�N�NNĉ!j0�Y*j�llQ�Sgя�S^�vEJXY�Sϑ�S�hV �1\/f*N�S�N�Q�_ۏ�b/g�v�OP[ ��[�|�^ؚ�0.025� �0zf��S z�^ؚ �Ǒ(u�s:W;`�~�b/g �1u�N���b(�ϑAmϑ0�N(��S�R�S�[�{5X^X0ʋ�e0��l4O�pʋ�e�TT[g�x_c�`�QI{Y�y�Sϑ�T�Oo`�~�s:W;`�~ O���~-N.Y�c6R�[��[�O��u�N�T�c�O��Y�~�b�Oo`0�O���[hQЏL����_ g)R �ُ�y�e�W�S�hV�v�SU\ �M�T�NꁨRS�|�~�{�cNSOS�v�Si� ��S g�Oo`�n4Y���R:_�N ��Oo`0N�[�N �Mb��O�Oo`S�f}Y�Oۏu�N�R�SU\0�SY ��[ g^��v^:W ��V:N�[(W�w�lS�]0�Qё05u�RI{Y*NL�NGW(uϑ�_'Y0 OahV�T�hKm�Nh��v�SU\���R яt^eg � OahVckY�N O�~�WT�e�W OahVl��W�v�SU\6��k0�e�W OahV�vyr�p/f�_�WS0peW[S0zf��S0Y�R��S0�|�~S0Q�~S ��[ N�N�Oۏ�N O�~�NN�v9e � � �N�S�[��^�z�e�W�]N�T�Q�N�Si� �/f21N�~�e�v�~Nm�X��p0�_�WS/f�^�z(W�_5uP[:g�h�|�~�MEMS ��b/g�W@x N�v ��vMR�]b�R�^(u(WExhV�N Nb_bEx�S�R OahV��Y N��EJX�S�hV �0�_5uP[:g�h�R�]�b/g �S�bSO�_:g�h�R�]�b/g0h�b��_:g�h�R�]�b/g0L1GA�b/g�XIQ�mB\IQ;R0�_5u���T�_ Y6R�b/g �0�oIQ�_�R�]�b/g�T�_�W\ň�b/gI{0MEMS�v�SU\ ��b OahV�v�_�WS0zf��S0Y�R��S�T�S`�'`4ls^�cؚ0R�N�e�vؚ�^0 OahV�T�hKm�Nh� �(W�_5uP[�b/g�W@x N ��Qn�_YthV �b�b�_ OahV�T�_YthV�S�vsQƖb5u��Џ�{>e'YhV0A/D0D/A0X[.�hV0Q�~����c�S5u� �I{\ň(WNw��[b�NpeW[S0zf��S0Q�~S0�|�~S0Q�~S�eb� ��vMR;N��/fcǑ(uY�y�s:W;`�~�T�N*YQ��NT�Q � �ُ�� cTL�N�v�Bl � ��bvQ-N�vN�ybY�y �яt^�QgAmL��v gFF0Profibus0CAN0LonWorks0AS-I0Interbus0TCP/IPI{0 d�MEMSY ��e�W OahV�v�SU\؏ gV��N�e�WOeaPg�e0OeaCQ�N�T�~s|�b/g ��Y�eN�NIQ�~ OahV0���[ OahV0&qs^b�H�R�~Y�cKmhV0uir OahV0�~s| OahV0�e�WϑP[ OahV0�_�W@���0Q�~S OahV0zf�� OahV0!j�| OahV0Y�R�� OahVI{0 Y OahVpenc��T�b/gck(Wb_b�p�p ��[b_b�N20N�~80t^�N ��[ N T�NN,��O�SYt �_N N T�NUS*NbY*N OahV�v�vKm�TKmϑ � �/f�[�W�NY*N OahVKmϑ�~�g�W@x N�v�fؚB\!k�v�~T�QV{Ǐ z0 gt��N OahV�b/g�v�_�WS0zf��S z�^�cؚ �(W�Oo`���S�W@x N �Y�y�R��ۏNekƖb�N�N��T �ُ/f�_6q�v���R0Y OahVpenc��T�b/g_N�Oۏ�N OahV�b/g�v�SU\0Y OahVpenc��T�v�[IN�i�b:N��bR^(W N TMOn�vY*N T{|b N T{| OahV@b�c�O�v@\�pencD��n�R�N�~T �Ǒ(u���{:g�b/g�[vQۏL�R�g ��md�Y OahV�Oo`KN���S��X[(W�v�QYO�T�w�v ��R�N�Ne� �M�NOvQ Nnx�['` ����_�[��Km�[a��vN�'`�ʑN�c�� ��N ��cؚ�|�~�QV{0ĉR0�S�^�v�_�'`�Tcknx'` �O�|�~���_�fEQR�v�Oo`0vQ�Oo`��T(W N T�Oo`B\!k N�Q�s �S�bpencB\��P }B\ ���T0yr�_B\��T0�QV{B\���ncB\ ���T01u�N�[�kUSN OahV�Oo` g�Y NO�p �sS�[�'`0�Ne�'`0�[�e'`0�~Nm'` �@b�N�ek�c^�^(u0�^(u���Wd��Q�NY �؏�(u�NꁨRS�b/g0:ghV�N0wm m�vƉ00W�‰Km0�^Q{0zz-N�N��{6R0;Sf[ʋ�e0e�a�b/gI{�eb�0 � � � � � � <D�����������ļ������xpe]RF8CJOJQJ^JaJ5�KHCJo(^JaJ5�KHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKH'B*phCK_CJ!OJQJ^JaJ!5�KH$\�'B*phCK_CJ!OJQJ^JaJ!5�KH$\��� "jl������LN~���������ø�����wldYQF>CJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JaJ5�KH�����������&����������ƻ������zog\TIACJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKH����V^jn������� ������ƻ������zog\TIACJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKH�������������fj��������ƻ������vh`UMB:CJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JaJ5�KHCJo(^JaJ5�KHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKH��2:@B��:@BH "$*,<>�����ƻ������zog\TIACJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKH>FHXZfjlnvR T ~ � � � �#�#�#�#�����ƻ������zog\QCJOJQJ^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKHCJo(^JKHCJOJQJ^JKH� � ����N ��������{l]dha$$1$WD��h`�hdha$$1$WD��h`�hdha$$1$WD��h`�hdha$$1$WD���`��dha$$1$WD��h`�hdha$$1$WD��h`�hdha$$1$WD��h`�hdha$$1$WD��h`�hdha$$1$WD��^`�^�dXD[$�dYD\$a$$1$@&&dP���� ���lT �#�#�#��������dha$$1$WD��h`�hdha$$1$WD��h`�hdha$$1$WD��h`�hdha$$1$WD��h`�hdha$$1$WD���`��dha$$1$WD��h`�hdha$$1$WD��h`�h,��. ��A!�#��"�$��%��S��2P1�866666666���� 0@P`p������6666 0@P`p������ 0@P`p������ 0@P`p������ 0@P`p������ 0@P`p������ 0@P`p��N@��Nck�e a$$1$$CJPJaJKHmH sH nHtH_Hd@dh�� 1$�dXD[$�dYD\$a$$1$@&CJ0OJQJ^JaJ05�KH$\�$A@���$؞���k=�W[SONi@���Nnf�h��#��#� G��z ��Times New Roman-���(�[SO;��Wingdings3$� �.�Cx� �@��Arial��Normal OahV�T�hKm�Nh��v͑��'`lin xue�~yr� ���Qh@[���gG !Z&!),.:;?]}����    & 6"0000 0 0 00000��� � �����=�@�\�]�^���([{�  0 0 00000��;�[�����������)��?�'*2�� � � � ��0�K� 6����� �����0�( � ��6 �S �����������?�@