高性能气体质量流量控制器
Bronkhorst®FG-201CV型高性能质量流量控制器(MFCs)适用于在真空和64 bar之间的工作压力下精que测量和控制流量范围在0.14…7毫升/分钟和0.42 ... 20 ln /分钟之间的情况。MFC由一个热质量流量传感器,一个精que的控制阀和一个基于微处理器的印制电路板组成,具有信号和现场总线转换功能。流量控制器根据设定值迅速调整所需流量。
EL-FLOW®Prestige系列配有数字印刷电路板,可提供高精度,出色的温度稳定性和快速响应。主数字电路板包含测量和控制所需的所有常规功能。除了标准的RS232输出外,仪器还提供模拟I / O。作为一种选择,可以安装一个板上接口来提供DeviceNet™,PROFIBUS DP,Modbus,EtherCAT®,PROFINET或FLOW-BUS协议。EL-FLOW®Prestige设计具有标准的多种气体/多种量程功能,可为(OEM-)客户提供que的灵活性和工艺效率。
F-201EV-PAD-88-Z VCR1/4"0.1-5 2.5bar/1.5bar HCL
F-201CV-500-PAD-88-E VCR1/4"0.008-0.4 2.5bar/1.5bar H2S
F-201CV-10K-PAD-88-Z VCR1/4"0.1-5 2.5bar/1.5bar CO2
F-201CV-2K0-PAD-88-V VCR1/4"0.05-2.5 2.5bar/1.5bar CO
F-201CV-5K0-PAD-88-V VCR1/4"0.1-5 2.5bar/1.5bar CH4
F-201AV-50K-PAD-88-V VCR1/4"1-50 2.5bar/1.5bar N2
F-201AV-70K-PAD-88-V VCR1/4"1.5-75 2.5bar/1.5bar H2
F-201AV-50K-PAD-88-V VCR1/4"1-50 2.5bar/1.5barH2
F-201CV-20K-PAD-88-V VCR1/4"0.4-20 2.5bar/1.5bar H2
M14+C2I VCR1/4" 20℃ 20-1000g/h 1.5bar/0.9bar TiCl4液体
M13+C2I VCR1/4" 20℃ 2-100g/h 1.5bar/0.9bar CH3CN液体