Bronkhorst M16210402B F-201CV-1K0-TAD-88-Z

 7.10.019 F-201CV / F-211CV质量流量控制器
替换M16210402B
型号型号：F-201CV-1K0-TAD-88-X
产品系列产品系列：EL-FLOW选择
保护等级防护等级：IP-40
材质：SS 316L
多流体多范围：停用
介质：SiH4（硅烷）
流量范围：10 ... 500 sccm
精度精度：满量程的±0.5％实际值加值的±0.1％终值（基于校准期间的条件）
校准证书校准证书：3点校准
入口压力（P1）：1.5 ... 2.5 bar（g）（已校准2 bar（g））
出口压力（P2）：0 bar（g）
阀功能阀功能：常闭常闭
喷嘴：0.30毫米
温度温度：20°C
密封件：Viton 51415
柱塞：Kalrez 6375
入口连接入口连接：1/4“外螺纹真空接头
出口连接出口连接：1/4“外螺纹真空接头
输出信号输出信号：EtherCAT 0 ... 100％（0 ... 5 V）
设定值型号设定值信号：EtherCAT 0 ... 100％（0 ... 5 V）
电压电源：+15 ... 24 Vdc

Bronkhorst流量计常用型号：
F-201AV-50K-ABD-00-V
F-201AV-50K-AGD-33-E
F-201EV-PAD-88-X
F-201CV-500-PAD-88-E
F-201CV-10K-PAD-88-V
F-201CV-2K0-PAD-88-V
F-201CV-5K0-PAD-88-V
F-201AV-50K-PAD-88-V
F-201AV-70K-PAD-88-V
F-201AV-50K-PAD-88-V
F-201CV-20K-PAD-88-V
M14-PAD-B2-0-S
M13-PAD-82-0-S
F-201DV-PAD-88-E
2.04.110 
C2I-IIU-2B-K
2.04.110
C2I-IIU-28-K
7.20.038
5.02.004 
5.02.006
M14-PAD-88-0-S
M13-PAD-88-0-S